Hồ sơ quang điện DRK8090

Thiết bị này sử dụng phương pháp đo giao thoa kế chuyển pha quang học, không tiếp xúc, không làm hỏng bề mặt phôi trong quá trình đo, có thể nhanh chóng đo đồ họa ba chiều của địa hình vi mô bề mặt của các phôi khác nhau, đồng thời phân tích và tính toán phép đo kết quả.

Mô tả sản phẩm
Tính năng: Thích hợp để đo độ nhám bề mặt của các khối đo và bộ phận quang học khác nhau; độ sâu của mặt kẻ ô của thước và mặt số; độ dày lớp phủ của cấu trúc rãnh lưới và hình thái cấu trúc của ranh giới lớp phủ; bề mặt của đĩa từ (quang) và đo cấu trúc đầu từ; độ nhám bề mặt wafer silicon và đo cấu trúc mẫu, v.v.
Do độ chính xác đo cao của thiết bị, nó có các đặc tính của phép đo không tiếp xúc và ba chiều, đồng thời sử dụng điều khiển máy tính và phân tích và tính toán nhanh chóng các kết quả đo. Thiết bị này phù hợp cho tất cả các cấp độ của các đơn vị nghiên cứu đo lường và thử nghiệm, phòng đo lường của doanh nghiệp công nghiệp và khai thác mỏ, xưởng xử lý chính xác và cũng phù hợp với các tổ chức nghiên cứu khoa học và học tập cao hơn, v.v.
Các thông số kỹ thuật chính
Phạm vi đo độ sâu không đồng đều bề mặt vi mô
Trên một bề mặt liên tục, khi không có sự thay đổi đột ngột về chiều cao lớn hơn 1/4 bước sóng giữa hai điểm ảnh liền kề: 1000-1nm
Khi có đột biến chiều cao lớn hơn 1/4 bước sóng giữa hai pixel liền kề: 130-1nm
Độ lặp lại của phép đo: δRa 0,5nm
Độ phóng đại của vật kính: 40X
Khẩu độ số: Φ 65
Khoảng cách làm việc: 0,5mm
Trường nhìn của thiết bị Trực quan: Φ0,25mm
Ảnh: 0,13×0,13mm
Độ phóng đại của thiết bị Trực quan: 500×
Ảnh chụp (quan sát bằng màn hình máy tính) -2500×
Mảng đo máy thu: 1000X1000
Kích thước pixel: 5,2×5,2µm
Thời gian lấy mẫu (quét) thời gian đo: 1S
Độ phản xạ gương tiêu chuẩn của thiết bị (cao): ～50%
Độ phản xạ (thấp): ～4%
Nguồn sáng: đèn sợi đốt 6V 5W
Bước sóng lọc nhiễu màu xanh lá cây: λ≒530nm
Một nửa chiều rộng λ≒10nm
Độ nâng kính hiển vi chính: 110 mm
Nâng bàn: 5 mm
Phạm vi chuyển động theo hướng X và Y: ～10 mm
Phạm vi quay của bàn làm việc: 360°
Phạm vi nghiêng của bàn làm việc: ±6°
Hệ thống máy tính: P4, 2.8G trở lên, màn hình phẳng 17 inch với bộ nhớ 1G trở lên